华海清科(688120)：拓展离子注入新品类 CMP+离子注入两翼齐飞

　　事件：

    　　公司12 月24 日公告，拟合计使用自有资金不超过10.045 亿元，收购公司参股子公司芯嵛半导体（上海）有限公司剩余82%的股权，本次交易完成后，芯嵛公司将成为公司全资子公司。

标的公司基本信息：

    　　【业务】芯嵛公司主要从事集成电路离子注入机的研发、生产和销售，目前实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备，相关产品已发往客户端验证。

【定价】本次拟收购的82%芯嵛公司股权合计交易对价为10.045 亿元，确定芯嵛公司100%股权的整体价格为12.25 亿元。

    　　【交易方式】采用现金方式，对业绩承诺方分期支付交易对价款。

【财务情况】截至23 年末与24 年5 月31 日，芯嵛公司资产总额份额为1.46/1.38 亿元，净资产总额分别为0.90/0.75 亿元；2023 年度与24 年1-5 月，芯嵛公司营收分别为362万元、78 万元（已发出机台尚在验证未确收），净利/归母净利（二者金额相同）分别为-2442万元、-1517 万元。

【业绩承诺】标准1：2024-26 年合并报表口径经审计的营业收入分别不低于0.45 亿元、1.05 亿元、3.40 亿元，其中：离子注入机台验收后确认的营业收入占比至少80%。标准2：

    　　2024-25 年，分别发出并交付不少于4 台、8 台离子注入设备给终端客户并进入客户设备验证或验收程序。

【业绩奖励】触发条件1：2025 年度营收在[1.17,1.28)、[1.28,1.40)、≥1.40 亿元区间，对标的公司核心团队奖励金额分别为1000、1500、2000 万元；2026 年度营收在[3.52,3.63)、[3.63,3.75)、≥3.75 亿元区间，对标的公司核心团队奖励金额分别为2000、2500、3000 万元；触发条件2：如标的公司完成首台特定工艺和另一特定工艺的离子注入设备的客户验证及验收，于设备获验收当年，向标的公司核心团队各奖励2000 万元。

收购价格性价比高、具备估值提升空间。芯嵛公司此次估值12.25 亿元（对应100%股权），以该公司2026 年3.4 亿元业绩承诺来衡量，对应2026 年PS 仅为3.6X。按离子注入机行业通常20%净利率计算，3.6X PS 隐含的PE 仅为18X。

并入芯嵛增厚公司业绩。按业绩承诺，芯嵛公司的并入有望在2024-26 年增厚华海清科0.45/1.05/3.40 亿元的营收；利润端，芯嵛公司初期研发投入高、短期可能处于亏损状态，但后续随着营收放量，亏损规模有望迅速收窄，鉴于华海清科自身净利规模较高，芯嵛公司并入对母公司净利影响不大。

拓展离子注入新品类，打开第二成长曲线。离子注入机是集成电路制造前道工序中的关键设备之一，占半导体设备销售规模的比重通常在3%-5%，按4%占比计算，2022-23 年中国大陆离子注入机市场空间分别为11.3、14.7 亿美元，市场空间广阔且增速较快（23 年yoy 增速30%）；芯嵛公司核心技术团队专注于离子注入行业30 多年，具有丰富的离子注入行业经验，产品较同类竞品晶圆颗粒污染控制效果、晶圆的装载效率更优，截至报告披露日，芯嵛公司已有部分机台实现验收；芯嵛公司的并入战略上助力华海清科跨入离子注入机新赛道，离子注入机市场空间较华海清科原有CMP 业务空间相当，此次并入使得华海清科可触达市场空间接近翻倍，打开第二成长曲线。

盈利预测：鉴于芯嵛的并入对上市公司净利影响较小，我们维持对华海清科2024-26年净利润9.9/13.5/16.8 亿元的预测不变，对应PE 为41/30/24 倍。芯嵛的并入使得华海清科形成“CMP+离子注入两翼齐飞”的格局，对公司横向平台化发展奠定坚实一步。维持公司“买入”评级。

风险提示：部分股权未能收购的风险（上海科技创业投资（集团）有限公司持有的芯嵛公司3.3333%股权需通过公开摘牌方式进行，华海清科能否成功摘牌尚存在不确定性）；潜在的商誉减值、市场前景风险；设备国产化不及预期等。