微导纳米(688147)：25H1半导体新签订单高增长 新能源电池ALD设备打开空间

　　事件：公司发布2025 年中报，25 年上半年半导体设备新签订单超去年全年。在研项目“新能源电池的 ALD 镀膜设备的研发及产业化”已处于开发实现阶段。

25H1 业绩增速亮眼，半导体设备新签订单高速增长2025H1 实现收入10.5 亿元，同比+33%；归母净利润1.9 亿元，同比+349%；扣非归母1.4 亿元，同比+1090%。25Q2 单季收入5.4 亿元，同比-12%，环比+6%，归母净利润1.08 亿元，同比+176%，环比+29%。从营收结构来看，光伏设备营收8 亿（营收占比77%），同比增长32%；半导体设备营收2 亿（营收占比18%），同比增长27%。

2025 年上半年末，半导体在手订单23.28 亿元，较年初增长55%，25H1 新增半导体设备订单超24 年全年。公司半导体设备工艺覆盖面不断拓展，客户数量和订单规模有望继续增长，预计未来三年半导体营收占比逐步提升。

半导体设备：ALD 全面覆盖先进工艺，高端CVD 实现关键工艺量产1）ALD 设备：公司是国内领先的ALD 设备公司，产品涵盖行业主流ALD 薄膜材料及工艺。公司开发的国内首台成功应用于集成电路制造前道生产线的量产型High-k ALD 设备，解决了国内集成电路突破28nm 制程节点最核心工艺之一的高介电常数（High-k）栅氧层薄膜工艺。公司持续拓展技术覆盖面，陆续研发和推出HKMG 技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3D NAND、3DDRAM、TSV 技术等工艺解决方案，可覆盖逻辑芯片、存储芯片、先进封装、化合物半导体和新型显示中ALD 技术的主要应用场景。

2）CVD 设备：①PECVD 设备：发展思路为从高端材料到通用材料，逐步打开市场。在高端材料领域，公司从高温硬掩模PECVD 设备出发，已获得客户验证并形成批量订单，未来目标是覆盖全温阈、全工艺（各类化学源）、全应用（逻辑、DRAM、3DNAND）的碳薄膜领域。在通用膜层材料领域，公司已研发SiO2、SiN、SiON、a-Si 等通用膜层PECVD 设备，已通过多家客户的产品性能测试，目前处于测试阶段。②LPCVD 设备：LPCVD 设备已覆盖SiGe、poly-Si、doped a-Si 工艺，已经产业化验证并取得重复订单。

光伏设备：ALD 设备龙头， 受益于XBC、钙钛矿等新型电池技术放量公司是国内光伏ALD 设备龙头，是首家将ALD 技术规模化应用于国内光伏电池生产的公司。公司技术方案覆盖TOPCon、XBC、钙钛矿等高效电池技术，已成功开发XBC 电池整线解决方案，覆盖钙钛矿电池的电子传输层、空穴传输层、界面层及阻隔封装层等核心工艺环节，钙钛矿板式ALD 设备已进入产业化应用。随着光伏行业反内卷及新技术的迭代，公司有望把握住下一代电池技术应用的机遇，实现光伏设备板块的持续发展。

新兴领域：持续拓展ALD 应用领域，在研新能源电池ALD 镀膜设备打开空间ALD 技术作为一种具有普适意义的真空镀膜技术，在柔性电子等新型显示、MEMS、 催化及光学器件等诸多高精尖领域均拥有良好的产业化前景，目前公司已实现柔性电子领域卷对卷ALD 设备的产业化应用。在新能源领域，公司正在研发ALD 镀膜设备，研发目标为开发出批量式粉末ALD 沉积设备、新能源及催化材料改性柔性材料ALD 沉积设备，能够精确控制镀膜厚度、提升包覆率和均匀性，实现提高材料性能的目的，目前该设备处于开发实现阶段。

盈利预测：预计2025-2027 年营收27、31、34 亿元，同比增长2%、13%、11%，归母净利润3.5、4.6、5.5 亿元，同比增长53%、32%、19%。对应2025年9 月8 日PE 61、46、39 倍，维持“买入”评级。