中科飞测(688361)：半导体量检测设备"破局者" 领航先进制程扩产新征程

　　【核心结论】

中科飞测是国内领先的半导体质量控制设备与软件提供商，聚焦晶圆前道与先进封装的质量控制核心赛道。2025H1 公司实现营业收入7.02 亿元，同比增长约 51.39%。后续随着国内先进制程晶圆代工扩产，资本开支上升+设备国产化率将提升。我们预测25-27年公司有望实现营业收入 20.61/31.28/44.13 亿元，实现归母净利润1.84/4.11/7.18 亿元。

当前股价对应25-27 年PS 为23.17/15.27/10.82 倍，首次覆盖给予“增持”评级。

    　　【核心逻辑】

国产前后道量检测设备龙头，广泛覆盖国内主要晶圆厂、封测厂。2024 年底，公司交付量突破千台，覆盖全球66.6%的质量控制设备市场空间。公司量检测设备已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线。公司有望显著受益于国内晶圆厂扩产，加速导入国产量检测设备，订单及收入规模实现快速增长。

前道量检测设备国产化率低，高弹性有望带来高增长。根据光刻人的世界公众号统计，截至2025 年9 月，中国半导体量检测设备国产化率16.4%，较2023 年提升 5.2 个百分点。国产设备已覆盖 28 nm 及以上制程主要工艺环节，并在部分细分领域实现 14 nm节点的技术突破。虽然与国际领先厂商在先进制程环节仍存在约 2–3 代差距，但本土厂商正快速缩小差距。中科飞测已具备 28–14 nm 节点及先进封装领域的批量交付能力，部分产品进入验证阶段，标志着国产设备正从“补位”走向“并跑”。

公司不断拓展量检测产品线，先进制程设备放量可期。公司在深紫外成像、缺陷识别算法等方面持续突破，正向 14nm、7nm 及先进封装场景扩展并推进电子束关键尺寸量测等前瞻项目；先进制程明场光学、暗场光学前道量检测设备有望逐步由验证阶段进入放量阶段，进一步打开公司成长空间。