旭光电子(600353)：承接科技部下发静电吸盘课题 氮化铝应用场景进一步打开

投资要点

事件：近日，旭光电子的孙公司宁夏北瓷新材料科技有限公司收到科技部下发的国家重点研发计划 课题任务书《氮化铝陶瓷组分设计及大尺寸辅热型静电吸盘制造和应用》，公司有望助力半导体设备核心零部件——静电吸盘的产业化进程。

静电吸盘是极为关键的半导体设备零部件，国产化需求迫切静电吸盘，又称静电卡盘（ESC,E—Chuck），是一种利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具，适用于真空和等离子体环境，主要作用是用于吸附超洁净薄片(如硅片)，并使吸附物保持较好的平坦度，可以抑制吸附物在工艺中的变形，并能够调节吸附物的温度。晶圆温度分布的均匀性是影响晶圆刻蚀速率和刻蚀均匀性的重要因素，静电吸盘在控制晶圆温度方面起着关键作用。在半导体晶圆制造过程中有多道工序，每一道工序都需要保证晶圆的平稳固定，静电吸盘已经成为应用最广泛的晶圆夹持工具，是刻蚀设备、PVD 设备、PECVD 设备、离子注入设备等的核心部件。静电吸盘的内部结构主要包括介电层、加热层和基座。AlN和SiC 因为具有较高的热导率，都可以用于制作静电吸盘的介电层。目前全球静电吸盘市场主要被美日厂商垄断，主要厂商包括美国Applied Materials、美国Lam Research、日本SHINKO、日本TOTO、日本NTK 等公司，由于静电吸盘属于消耗品，使用寿命一般不超过两年，因此静电吸盘具有较大的替换市场。

NTCysd 数据2022 年全球静电吸盘市场销售额为18.23 亿美元，预计2029 年将达到25.91 亿美元。从销量上看，2022 年全球静电吸盘销量为5.78 万件。

公司承接科技部静电吸盘重要课题，助力静电吸盘产业化推进静电吸盘作为核心的半导体设备零部件，对于我国半导体产业的全国产化有着极为重要的意义。近日，旭光电子的孙公司宁夏北瓷新材料科技有限公司收到科技部下发的国家重点研发计划 课题任务书《氮化铝陶瓷组分设计及大尺寸辅热型静电吸盘制造和应用》，该课题要求“针对我国半导体行业对高精度静电吸盘国产化的迫切需求，系统地开展12 英寸晶圆用大尺寸辅热型氮化铝静电吸盘结构设计、陶瓷材料热学和电学性能协同调控、辅热型静电吸盘制造技术、静电吸盘性能测试表征技术等多方面的研究……并且完成在半导体制程模拟装置中的示范应用，建立中试生产线，为国产化高性能氮化铝静电吸盘的产业化应用和发展奠定基础。”公司承接的相关课题属于半导体用高超精密晶舟及静电吸盘研制与应用项目，该课题的实施有望助力静电吸盘产业化推进。

    盈利预测与估值

我们预计公司2023/2024/2025 年归母净利润分别为1.06/2.35/3.33 亿元，对应PE分别为67.88/30.60/21.60X。考虑到公司在氮化铝行业竞争优势独特（具备粉体+器件的全流程能力），未来有望在静电吸盘等领域持续打开成长空间，伴随着募投项目的产能爬坡，氮化铝的经营成果有望持续兑现。结合考虑到公司2024-2025 年因氮化铝带动的成长持续性较强，上调至“买入”评级。

    风险提示