芯源微(688037)首次覆盖：国内涂胶显影设备龙头 布局化学清洗和先进封装

【核心结论】预计2024-2026 年公司营收分别为20.92/27.89/36.25 亿元，归母净利润为3.26/4.34/5.76 亿元。公司涂胶显影产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，同时积极布局化学清洗与临时键合及解键合设备打开长期成长空间，首次覆盖，给予公司“增持”评级。

    　　【主要逻辑】

涂胶显影设备是光刻工序关键设备，是唯一与光刻机联机作业的核心工艺设备，行业进入门槛高，目前国产化率依然较低，该市场长期被日本厂商垄断，本土厂商芯源微实现突破。芯源微作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商，2018 年推出首台前道Track，经过多年发展，积累了工艺达标、光刻机联机作业、稳定运行的宝贵经验，完成了与数十台光刻机的成功联机量产。公司产品型号覆盖度不断提升，offline、I-line、KrF 节点产品已实现量产，ArF 浸没式机台正加速推进产业化，公司二季度新签订单情况良好，随着客户认可度的提升，公司市场份额有望实现不断增长。

我们测算2023 年中国大陆前道涂胶显影设备市场规模为10.15 亿美元，预计2025 年增长到13.17 亿美元。目前前道涂胶显影设备主要被日本东京电子所垄断，在全球市占率高达90%，涂胶显影设备国产替代迫切。公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商，相关产品成功打破国外厂商垄断，前道涂胶显影设备已完成在晶圆加工环节28nm 及以上工艺节点全覆盖，28nm 以下工艺技术正在验证中，有望充分受益涂胶显影设备国产替代趋势。

积极布局化学清洗、临时键合及解键合等领域，打开成长空间。公司目前已经成为国内前道物理清洗设备龙头，化学清洗机已于2023 年第四季度获得国内知名客户验证性订单，未来有望逐步放量。键合设备方面，目前芯源微可应用于Chiplet 等领域的新产品临时键合机、解键合机也实现国内多家客户订单导入，进一步打开先进封装市场增长空间。