芯源微(688037)：化学清洗、划片机、键合机新品突破

　　投资要点：

公告：2024 中报营收6.94 亿元，yoy -0.29%，归母净利润7613.88 万元，yoy -43.88%；扣非归母净利润3578 万元，yoy -65.5%。24H1 研发投入1.17 亿元，yoy +52%。2024H1毛利率40.2%，yoy -3.2pct，归母净利率10.98%。

24Q2 营收4.5 亿元，yoy +10.3%，环比+84%；归母净利润0.6 亿元，yoy -13.7%。

据Global Market Monitor，全球前道涂胶显影设备销售额由2013 年的14.07 亿美元增长到2020 年19.05 亿美元，2022 年超过25 亿美元；涂胶显影设备领域，日本TEL一家独大，全球市场份额接近87%，日本对6 大类半导体设备出口管制的政策已于23 年7 月23 日实施，其中包括先进制程领域涂胶显影相关设备。芯源微作为国内领先的涂胶显影设备生产企业，有望打破垄断格局。2024H1，新签订单12.19 亿元，yoy +30%，在手订单超过26 亿元，创历史新高。

前道涂胶显影设备完成28nm 及以上工艺覆盖，下一代高产能架构研发顺利。前道涂胶显影设备全面覆盖I-line、KrF、ArF dry、ArF 浸没式等多种型号，也适用包括SOC、SOH、SOD 等其他旋涂类应用。2024H1 公司新一代超高产能架构涂胶显影机FTEX 研发取得良好进展，机台采用六层对称架构，中间布局高效的晶圆传输模组作为连接枢纽，并设计高效冷盘塔连接模块，在调度上应用多层并行进片回片模式，为整机产能提升奠定更先进的架构基础，可匹配未来更先进的光刻机产能提升需求。

半导体清洗设备：物理清洗机Baseline，化学清洗突破客户验证。全球半导体清洗设备市场将呈逐年增长的趋势，根据 SEMI 数据，中国大区2023 年市场需求8.26 亿美元，占全球比重约27%。芯源微物理清洗机继续保持行业龙头地位，化学清洗机新品2024 年初发布，据中报，机台已在司内完成多家主要客户的wafer demo 测试，工艺水平表现优秀，获得了下游客户的高度认可，公司高温SPM 机台获得了国内领先逻辑客户的验证性订单。

维持盈利预测，维持“买入”评级。2024 中报符合预期。维持2024-2026 年归母净利润预测2.88/3.73/4.40 亿元。2025PE 为31X，维持“买入”评级。

    　　风险提示：晶圆厂扩产节奏低于预期；新设备验证不达预期等；原材料采购周期延长风险。