中科仪(920186)：半导体真空系统“卖铲人” 产业+科研双轮驱动 国产替代正当时

先进制造和科研广泛依赖真空技术，在集成电路各制程中，干式真空泵是实现真空环境所必需的零部件。2024 年，在真空系统类零部件所应用的光刻设备、量/检测设备、离子注入设备等领域国产化率不到10%，在薄膜沉积设备、刻蚀设备等领域国产化率也不到40%，国产化需求迫在眉睫。据沙利文估算，中国市场半导体设备类零部件国产化率预计将持续增长，2029年或将达12.4%。干式真空泵是集成电路制造工序中提供真空环境的核心附属设备，干式真空泵必须在真空压力稳定性、抗腐蚀性、可靠性、紧凑性及功耗等方面满足集成电路产业的工艺需求。据WSTS 统计，2016-2024 年，全球集成电路行业市场规模由2,767 亿美元稳步增至5,395 亿美元，CAGR 为8.70%。随着存储、逻辑、模拟芯片需求增长，WSTS 预计2026年全球集成电路市场规模将大幅增长28.97%至8,743 亿美元。

中科仪深耕真空科研仪器行业，在洁净真空、超高真空领域形成了大量技术工艺积累，为干式真空泵和真空仪器设备两大业务板块的发展奠定了坚实基础。2025 年，公司营业收入达到12.91 亿元，同比增长19.30%；归母净利润为8.44 亿元，同比大幅增长337.77%，整体盈利水平保持稳健。2025 年公司毛利率为26.78%，净利率达65.35%，利润率可观。公司始终保持高强度研发投入，2024 至2025 年研发费用均约1.1 亿元。公司搭建了真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心等多个国家级创新平台，已掌握干泵测试、无油真空获得及精密加工技术等八大核心技术，有力推动半导体真空装备关键技术加速突破与国产化落地。公司是我国集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，目前公司已形成干式真空泵与真空仪器设备为主的“双轮并行”业务体系。截至2025 年12 月31 日，公司拥有发明专利103 项。

盈利预测与评级：我们预计公司2026-2028 年归母净利润分别为2.3/2.8/3.5 亿元，当前股价对应的PE 分别为86/70/55 倍。我们选取拓荆科技、华海清科、芯源微、京仪装备作为可比公司，可比公司2026 年PE 均值为168X。考虑到公司源于中科院的深厚技术积淀，形成“科研反哺产业、产业验证技术”的独特闭环，凭借在洁净真空与超高真空领域深耕，公司已在半导体干式真空泵这一核心“卖铲人”赛道建立起应用壁垒，是唯一在集成电路先进制程及清洁、中等、苛刻全工艺环节均实现批量应用的国产企业，配套长江存储、长鑫科技、北方华创并已通过台积电、SK 海力士等国际头部客户验证，成长空间广阔，首次覆盖给予“增持”评级。